加工から研磨、真空蒸着まで。エイテックにお任せ下さい。

Brooks Automation Polycold Systems 独自の冷却サイクルにて、 １台のコンプレッサーのみを用い、不燃性かつ安全な混合冷媒 ガスの圧縮/膨張を繰り返すことにより、最大－160℃まで冷却 を行います。 チャンバー内の水分子（H2O）を超低温のクライオコイル（冷却 用コイル）に吸着排気させる事により、従来の排気時間を25%～ 75％短縮させる事が可能です。蒸着装置、スパッタ装置、イオン注 入装置、ロールコーター、イオンミリング装置,真空溶解炉、電子ビ ーム溶接装置、リークディテクター等、あらゆる真空装置のクライオ コイル、コールドトラップ、バッフル等の冷却に使われています。